外延石英钟罩清洗机 

概述：外延石英钟罩清洗机 适用于LPE外延炉PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗；适用于半导体材料行业；手动、自动控制模式； 适用对象参数为

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刷新时间：
2025-09-10 10:06:52 点击176次
分类：
行业设备 > 化工相关设备 > 化工实验设备
服务区域：
北京/大兴/北京经济技术开发区
联系电话：
13911568117 王经理
QQ：
190888756
信用：4.0  隐性收费：4.0
描述：4.0  产品质量：4.0
物流：4.0  服务态度：4.0
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外延石英钟罩清洗机
适用于LPE外延炉PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗；适用于半导体材料行业；手动、自动控制模式；
适用对象参数为9010mm*1170mm的1 件/ Batch；471mm*155mm数量1 件/ Batch；1200mm* Φ417mm数量1 件/ Batch；900mm石英件数量1 件/ Batch；机台封面为聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)；整体骨架表面喷涂处理 ；机台视窗为透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)   ；配有蚀刻液恒温系统、 蚀刻液循环过滤系统、 二流体喷淋系统（CGB专利技术）、 全自动烘干系统； 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理； 全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性； 采用CGB专利技术，钟罩静止等待，通过二流体及喷淋助力装置完成均匀蚀刻清洗；全自动烘干系统；多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储；作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全； 客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要；制程控制为PLC控制方式；全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）；设备制造北京华林嘉业科技有限公司（CGB）13911568117；
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